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硅外延用三氯氢硅【作废】

标 准 号: GB/T 30652-2014
发布单位: 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
起草单位: 中锗科技有限公司、南京国盛电子有限公司、南京中锗科技股份有限公司
发布日期: 2014-12-31
实施日期: 2015-09-01
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更新日期: 2017年04月12日
下载地址:点击这里 254.88KB
下载点数:20点(VIP会员免费)
内容摘要

本标准规定了硅外延用三氯氢硅(SiHCl3)的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存、质量证明书以及订货单 (或合同)内容。
本标准适用于以粗三氯氢硅为原料经过提纯而制得的硅外延用三氯氢硅(以下简称产品)。

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