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碳化硅单晶片微管密度的测定 化学腐蚀法

标 准 号: GB/T 30868-2014
替代情况:
发布单位: 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
起草单位: 中国电子科技集团公司第四十六研究所、中国电子技术标准化研究院
发布日期: 2014-07-24
实施日期: 2015-02-01
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更新日期: 2017年11月28日
内容摘要

本标准规定了利用熔融氢氧化钾腐蚀法测定碳化硅单晶微管密度的方法。
本标准适用于碳化硅单晶微管密度的测定。

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