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纳米几何量标准样板测试方法

标 准 号： GB/T 43915-2024
替代情况：
发布单位： 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
起草单位： 中国电子科技集团公司第十三研究所
发布日期： 2024-04-25
实施日期： 2024-11-01
点 击 数：
更新日期： 2024年05月24日
内容摘要

本文件规定了纳米几何量标准样板测试方法的分类及原理、测试设备、测试环境、测试程序及测试数据处理。


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