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碳化硅单晶抛光片表面粗糙度的测试方法

标 准 号： SJ/T 11503-2015
替代情况：
发布单位： 中华人民共和国工业和信息化部
起草单位： 工业和信息化部电子工业标准化研究院
发布日期： 2015-04-30
实施日期： 2015-10-01
点 击 数：
更新日期： 2021年04月09日
内容摘要

本标准规定了用表面轮廓仪和原子力显微镜测定碳化硅单晶抛光片表面粗糙度的方法。

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