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短基线红外吸收光谱法测量硅中间隙氧含量

标 准 号： SJ/T 11491-2015
替代情况：
发布单位： 中华人民共和国工业和信息化部
起草单位： 工业和信息化部电子工业标准化研究院
发布日期： 2015-04-30
实施日期： 2015-10-01
点 击 数：
更新日期： 2021年04月09日
下载地址：点击这里 3.11MB
下载点数：20点（VIP会员免费）
内容摘要

本标准规定了用短基线红外光谱法测定硅中间隙氧含量。

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