本标准规定了SPM 漂移速率的术语和定义、缩略语、测量步骤、性能参数规格,及基于SPM 扫描图像的漂移速率测量基本方法。
本标准适用于0.01nm/s到10nm/s的漂移速率测量。本标准中的漂移测量不适用于图像校正。
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