本标准规定了电子柱气电测微仪的术语和定义、型式与基本参数、要求、检验条件、检验方法、标志与包装等。本标准适用于分辨力为0.2μm、0.5μm、1μm，以电子柱（发光单元）显示的电子柱气电测微仪。
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