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MEMS压阻式压力敏感器件性能试验方法

标 准 号： GB/T 42191-2023
替代情况：
发布单位： 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
起草单位： 中机生产力促进中心 等
发布日期： 2023-05-23
实施日期： 2023-09-01
点 击 数：
更新日期： 2023年07月12日
内容摘要

本文件描述了MEMS压阻式压力敏感器件试验条件和试验方法。

本文件适用于MEMS压阻式压力敏感器件。


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