本标准规定了闭式单轴多点宽台面高速超精密压力机静载变形测量方法的术语和定义、整机刚度测量方法、滑块挠度测量方法和工作台挠度测量方法。
本标准适用于闭式单轴多点宽台面高速超精密压力机。
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