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碳化硅外延片表面缺陷的测试 激光散射法

标 准 号： GB/T 42902-2023
替代情况：
发布单位： 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
起草单位： 安徽长飞先进半导体有限公司、广东天域半导体股份有限公司、安徽芯乐半导体有限公司、南京国盛电子有限公司等
发布日期： 2023-08-06
实施日期： 2024-03-01
点 击 数：
更新日期： 2023年09月11日
内容摘要

本文件描述了激光散射法测试碳化硅外延片表面缺陷的方法。
本文件适用于4H-SiC外延片的表面缺陷测试。

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如需帮助，请联系我们。联系电话400-6018-655。
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