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碳化硅晶体材料缺陷图谱

标 准 号： GB/T 43612-2023
替代情况：
发布单位： 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
起草单位： 北京大学东莞光电研究院、山西烁科晶体有限公司、河北普兴电子科技股份有限公司等
发布日期： 2023-12-28
实施日期： 2024-07-01
点 击 数：
更新日期： 2024年02月25日
下载地址：点击这里 4.62MB
下载点数：30点（VIP会员免费）
内容摘要

本文件规定了导电型4H碳化硅(4H-SiC)晶体材料缺陷的形貌特征，产生原因和缺陷图谱。


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