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多层金属薄膜层结构测量分析方法 X射线光电子能谱

标 准 号： T/CSTM 01199-2024
替代情况：
发布单位： 中关村材料试验技术联盟
起草单位：
发布日期： 2024-01-05
实施日期： 2024-04-05
点 击 数：
更新日期： 2024年04月26日
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内容摘要

本文件规定了X射线光电子能谱仪（XPS）深度剖析测量多层金属薄膜层结构的分析方法。

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